furnace是什么意思_furnace用法_furnace怎么读_furnace翻译_furnace含义
furnace是什么意思_furnace用法_furnace怎么读_furnace翻译_furnace含义介绍:
炉管在半导体中的应用?
炉管(furnace)半导体制程中广泛的应用炉管:炉管的内层会套入一个透明的石英管,石英管外圈是电阻式加热线圈环绕,石棉隔热,最外层为不锈钢。管内有三个热电偶,分别测量前、中,后三个区域的温度。
气体输送装置:由手动阀、微粒过滤器、压力调节器、气动阀、流量控制器等组成。
炉管(furnace)半导体制程中广泛的应用于diffusion、drive-in、oxidation、deposition,annealing和sintering制程。设备分为水平式和垂直式两种。
水平式炉管,wafer放置在石英晶舟(Quartz Boat)上,且石英晶舟又放在SiC做的承载架(paddle)上,且前后会有适应挡板。
承载架推进石英炉管中,wafer在恒温区进行反应。结束后wafer也会缓慢拉出,避免馆内外温度差造成wafer弯曲or破裂。
垂直式炉管,wafer在石英塔架上,然后缓慢上升到石英炉管内进行制程,反应晚也需要缓慢降下,防止弯曲or破裂。
真空炉分压原理?
真空炉(vacuum furnace)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2~10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热,也可用高频感应加热。高温度可达3000℃左右。
在真空加热炉中,为了防止工件的高蒸汽压金属元素在真空加热阶段挥发,一般都会采用通入惰性气体提高总炉压,传统真空加热炉采用针阀加电磁阀通断、以及罗茨泵的变频实现压力调整,这种做法使得真空炉内炉压波动大,分压调整的范围受针阀的开启量影响,不能实现大范围、精准的分压控制。